反滲透設備對進水的濁度有較高的要求，特別是反滲透進水的污染指數SDI值要求小于4，濁度小于1NTU。多介質濾器中的濾料包括五種規格的石英砂和無煙煤，用于除去原水中的懸浮物及脫穩后的膠體。原水進入機械濾器以前，投加絮凝劑，以加徹底地脫出水中的有機物及膠體等雜質。送往活性炭濾器和保安濾器進一步處理作為反滲透設備進水。
超純水機的適用范圍：液相色譜、高精密儀器分析、分析、蛋白質純化、同位素分析、動植物細胞培養、組織培養等

硬度能在EDI超純水機單元中引起結垢，結垢一般在濃水室膜的表面發生，該處pH值較高，易形成結垢層。此時，濃水入水和出水間的壓力差增加膜通量降低。超純水機組件設計采取了避免結垢的措施。不過，使用軟水機將會延長清洗周期并且提高EDI系統的壽命。

反滲透裝置去除水中的溶解性鹽類物質、、熱源等，然后使用連續電除鹽裝置進行深度脫鹽，使産水電阻率達到15MΩ.cm以上，再采用電子級純水樹脂精混床精除鹽，使産水電阻率達到18.2MΩ.cm。反滲透純水設備采用的工藝，是一種利用選擇透過性高分子膜進行物質分離的技術，以反滲透膜元件為主體。

超純水機中的反滲透柱具備以下特點：反滲透柱采用美國陶氏DOW原裝進口RO膜片，優化設計的RO膜組件，反滲透模塊可以截留高達99% 的帶電離子，以及99% 的溶解物質，及顆粒和微生物。帶有自動反沖功能，防止水垢產生，延長壽命。
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